半導體接觸角測量儀晶圓表面潤濕分析

產品簡介：半導體接觸角測量儀晶圓表面潤濕分析，采用光學成像的原理-圖像輪廓分析方式測量樣品表面的接觸角、潤濕性能、表界面張力、前進后退角、表面能等。主要由光源、注射單元、樣品臺、采集系統、分析軟件等組成。設備采用全自動進液裝置，性價比高、拓展性強、功能全面、可滿足各種常規測量需求，目前已經廣泛使用在眾多高校院所及企業。

產品型號：CA720

更新時間：2024-12-10

廠商性質：生產廠家

訪問量：622

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產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

接觸角測量系列

CA700全自動多點光學接觸角測量儀 CA720 晶圓接觸角測量儀 CA600 高溫接觸角測量儀 CA500 傾斜型接觸角測量儀 CA300 大平臺接觸角測量儀 CA200 自動型接觸角測量儀 CA100 標準型接觸角測量儀 CA80基礎型光學接觸角測量儀 CA60 便攜式接觸角測量儀

產品介紹

半導體接觸角測量儀晶圓表面潤濕分析

1.樣品臺專為晶圓設計，可適應6-12寸的晶圓，具備四向對中功能。

2.矩陣型多點測試，測試精準簡單方便。自動定位-滴液-接液-自動測量-自動換位。

3.一次測試點位多達50+個,可在原圖上直接顯示數據并保存。

4.測試結果可直接保存在陣列圖上。

5.批量方案設置功能，可保存多個測量方案，一次保存，終身無需再設定。可隨時調取。

半導體接觸角測量儀晶圓表面潤濕分析

貨期：現貨

品牌：北斗儀器

型號：CA720

產地：廣東東莞

名稱：全自動晶圓專用接觸角測量儀

接觸角（Contact angle）是指在氣、液、固三相交點處c作的氣-液界面的切線，此切線在液體一方的與固-液交界線之間的夾角θ，是潤濕程度的量度。是現今表面性能檢測的主要方法。半導體接觸角測量儀晶圓表面潤濕分析，采用光學成像的原理-圖像輪廓分析方式測量樣品表面的接觸角、潤濕性能、表界面張力、前進后退角、表面能等。主要由光源、注射單元、樣品臺、采集系統、分析軟件等組成。半導體接觸角測量儀晶圓表面潤濕分析，采用全自動進液裝置，性價比高、拓展性強、功能全面、可滿足各種常規測量需求，目前已經廣泛使用在眾多高校院所及企業。

專為晶圓深度定制的一臺 晶圓接觸角儀 ，廣泛用于晶圓的潤濕性能分析與研究，是一臺快速測量晶圓多點位潤濕性分析測量的設備。

半導體接觸角測量儀晶圓表面潤濕分析

設備整體參數	型號	CA720
	名稱	全自動晶圓專用接觸角測量儀
	類型	晶圓型
	機身材質	航空鋁
	輸入電源	220V 50-60Hz
	功率	10W
	儀器尺寸	約890mm（W）400mm(L) 580mm(H)
	儀器重量	約30KG
樣品平臺系統	平臺尺寸	直徑320mm
	前后Y移動	自動：行程160mm,精度0.1mm
	測試速度	0.1-50mm/s
	上下Z移動	手動：行程30mm,精度0.1mm
	水平調整	整機水平調整，攝像頭水平調整（配送專業級XY水平儀）
	可放置樣品	6-12寸
	樣品臺材質	鋁合金帶四向對中技術
注射系統	注液移動行程	Y行程：40mm Z行程（自動）：35mm，精度0.1mm（針頭對中及液滴自動轉移）
	滴樣控制移動	行程：60mm,精度：0.01mm
	滴樣方式	自動
	滴樣速度	0.01-25ul/s
	滴液精度	0.01ul
	加液方式	自動（配送5ml玻璃燒杯加液）
	微量進樣器	容量：500ul（全自動液位實時檢測）
	針頭	標配0.5mm不銹鋼針頭（可替換）10個、超疏水針頭0.25mm（可替換）10個
采集系統	相機	日本SONY原裝高速工業級芯片(Onsemi行曝光)
	鏡頭	0.7x-4.5x
	傳感器類型	1/1.8 英寸逐行掃描CMOS
	分辨率	1280×1024
	焦距	±2.5mm可調
	圖像拍攝方法	單張、間隔、連續
	拍攝間隔時間	500-3600000ms
	視頻錄制方式	錄像、回播、合成
	清晰度測量	全自動軟件對焦
	最大拍攝速度	80幀/s
光源系統	光源	美國進口工業級白色冷光源（有效避免因光源散發熱量蒸發液滴）
	組合方式	采用日本進口石英擴散膜使得亮度更均勻，液滴輪廓更清晰
	使用壽命	5萬小時以上
	亮度調節	PWM無極調節+軟件調節
	亮度識別	通過北斗算法自動識別亮度保證優良亮度
	光源波長	400～760nm
接觸角測量	功率	1W
	接觸角測量方法	懸滴法、座滴法等
	測量軟件	CA V2.0靜/動態接觸角測量軟件+表面能測量軟件
	軟件操作系統要求	windows 10(64位)
	接觸角測量方式	自動與手動
	接觸角計算方法（static contact angle）	自動擬合法（ms級別一鍵全自動擬合，不存在人工誤差）、三點擬合、五點擬合、自動測量（包括圓擬合法/斜圓擬合法（Circle method/ Oblique Circle）、橢圓擬合法/斜橢圓擬合法(Ellipse method /Oblique Ellipse)、B-Snake擬合法、凹凸面測量等
	動態接觸角測量（Dynamic contact angle）	前進角（Advancing angle），后退角（receding angle），滯后角（hysteresis angle） (可批量擬合多張圖片或視頻連續擬合計算Video analysis)
	基線擬合	自動與手動
	角度范圍	0°＜θ＜180°
	精度	0.1°
	分辨率	0.001°
表面能	表面能測量方法	Fowks法，OWRK法，Zisman法，EOS法，Acid-Base Theory法,Wu harmonic mean法,Extended Fowkes法（軟件中預裝37種液體數據庫，可自行建立液體性能參數）數據可直接調入用于表面能估算，液體庫數據可自行添加、刪除和修改。可分別得到固體表面能、色散力、極性力、氫鍵力、范德華分量、路易斯酸分量、路易斯堿分量等
表面能	表面能單位	mJ/m2
表界面張力	測量方法	自動擬合+手動擬合
	精度	0.01 mN/m
	測量范圍	0.1mN/m-2000mN/m
潤濕性分析	粘附功	一鍵自動分析
	鋪展系數	一鍵自動分析
	粘附張力	一鍵自動分析
	精度	0.001 mN/m
	單位	mN/m

眾所皆知，軟件是一臺儀器的靈魂所在，組成系統的硬件雖為測量提供了基礎，但只有在軟件的支持下，才能實現硬件的功能，充分發揮其潛力，使系統的總體功能和性能如虎添翼。

本公司研發定制的CA V1.2.1靜/動態接觸角測量軟件+表面能測量軟件專用測控軟件自2010年開始就面向客戶提供使用，經過11年來各行業客戶的使用反饋、使用要求、國家標準和國外標準的融合，已經達到一個很成熟穩定的狀態。

擁有自主知識產權的軟件控制系統（行業內極少），在對以后軟件升級，新標準更換的時候起到一個很大的優勢。

測試報告

半導體接觸角測量儀晶圓表面潤濕分析

精細機械：系統的框架選用高質量的進口高強度氧化保護鋁型材并烤漆處理，所有的其它主要組件也都是由鋁合金，不銹鋼和銅合金通過精密制作而成。

精密定位：系統所有的線性移動單元，包括三維樣品臺（xy-軸），(Z-軸)注射器/針頭的移動調節，均是由直線銅齒條和精密燕尾槽驅動，確保傳動平穩、輕松和精細。

自動控制：作為標準配置CA-200配備了專業級軟件控制的精密自動液體分配系統AD（Automatic Dispensing）。采用精密線性直線導軌滴液，控制精度可達0.1ul,確保測量的準確性和重復性，普賽特人改變傳統導液管進液的方式，采用推桿直頂式結構，更方便進樣器的清洗及更換，同時避免了傳統導液管進樣排空氣難且需專業人士操作的難題。它既可裝載高精度氣密玻璃微量注射器（如用于需精密/精細體積控制的測量）又可配置一次性塑料注射器（如用于難清洗的液體樣品測量）；當液體用完后，可直接通過配送的5ml燒杯進行自動加液。

配置齊全的進樣器與針頭選擇：提供數十種不同規格的進樣器供使用者選擇，如不同規格（25ul/50ul/100ul/250ul/500ul/1000ul….）,不同材質（氣密玻璃進樣器/塑料進樣器），不同品牌（Hamilton/boli….）以滿足不同客戶需求。提供各種規格（10-34#）以及不同材質（不銹鋼/聚四氟乙烯/pp撓性針頭）以及特殊針頭（彎曲針頭），可用于常規接觸角測量，也可用于超疏水、超親水、高粘度等特殊液體的進樣、液滴轉移等。

成像系統：作為標準配置CA-200采用了行曝光（Rolling Shutter）高分辨率CMOS圖像傳感器配合pomeas0.7-4.5遠心輪廓鏡頭。保證優良的成像效果。同時亮度連續數字可調的高強度背光冷光源為成像提供了均勻的背景照明。

軟件平臺：軟件是整個測量系統的靈魂和大腦。 CAPST V1.2.1軟件為用戶提供了范圍廣泛的功能和特性。作為一光學方法，測量的精度取決于成像的質量和后著的處理、分析和計算方法。其中采用的亞像素（ sub-pixel）液滴坐標檢測，自動液 /固 /流 -三相接觸線識別，液滴全輪廓分析，和基于連續信息反饋的液滴監視功能等構成了軟件的核心組件，而且這一切又都能實時完成。

半導體接觸角測量儀晶圓表面潤濕分析

1.usb2.0數字CCD攝像頭 1個	2.連續變倍光學系統 1個
3.手動加樣系統 1套	4.手動CCD傾斜系統 1套
5.表界面分析測量系統應用軟件 1套	6.說明書紙質一份及說明書電子版 1份
7.保修卡及合格證1份	8.親水進樣針10個，疏水進樣針10個
9.500ul進樣器1個	10.電源線及數據線1條
11.XY專用水平儀1個	11.晶圓自動旋轉系統 1套

半導體接觸角測量儀晶圓表面潤濕分析

物料名稱	數量	規格描述
主機框架	1	高強度進口歐標航空鋁合金結構搭配模塊化設計
相機	1	USB2.0接口， SONY 1/1.8" MT9M001 Rolling shutter CMOS，分辨率H1280×V1024，幀率80fps
鏡頭	1	對焦距離90mm
光源	1	日本CCS工業級深度定制單波長LED輪廓冷光源，120個密集光源點，配合美國進口柔光板與均光板，亮度連續可調，12V安全電壓
支撐腳	1	鋁合金+減震膠墊結構，配合減震系統，可調節機臺水平與防震效果
俯仰調整滑臺	1	螺桿控制，調整范圍±1°
滴液驅動模塊	1	電機驅動，超細牙絲桿轉動，移動行程60mm，導程1mm，重復定位精度±0.01μl
滴液升降模塊	1	旋鈕驅動，絲桿轉動，重復定位精度±1mm
樣品臺升降滑臺	1	齒輪齒條控制，移動行程30mm，分辨率0.1mm
樣品臺平移滑臺	1	齒輪齒條控制，移動行程X30×Y50mm，分辨率0.1mm
固定件和連接件	1	AL6061鋁合金數控加工而成，表面烤漆處理
控制器	1	微機控制系統，發送指令控制滴液系統
電氣控制單元	1	集成了包括電路、電位器、開關、電源等
測量軟件	1	包括接觸角測量、表面張力測量、表面能估算和潤濕性分析
微量進樣器	1	500uL，分辨率0.001ul
耗材	1	親水進樣針，疏水進樣針,500ul進樣器
電腦（選配）	1	如下配置

物料名稱	品牌	物料名稱	品牌
CPU	英特爾i3處理器	鼠標鍵盤	力拓
主板	英特爾H61主板	機箱	金和田
內存	華碩8G DDR3 1600	電源	長城
硬盤	七彩虹 250G	顯示器	HUYINIUDA 19寸